Schichtdickenmessung

Bei Systec SVS nutzen wir zwei Methoden zur Messung der Schichtdicke. Die mechanische Testmethode (Calo Tester) erzeugt durch die Schicht in das Substrat hinein einen spherischen Krater. Durch Messung des Kraterdurchmessers kann die Schichtdicke bestimmt werden. Diese Methode wird besonders bei mehrlagigen Schichten angewandt. Für die meisten Keramikschichten ( Basis Ti, Cr, TiAl, Zr) wird die Röntgen-Fluoreszenz-Methode genutzt, da diese eine schnelle und genaue Messung der Schichtdicke erlaubt.